对应300mm晶片的平行密封型缝阀 XGTP 系列 使用压力范围(Pa) 使用流体 门尺寸 (高×宽)(mm) 动作压力 (MPa) XGTP 大气压~10-6 惰性气体 50×336 0.45~0.6
给需恒温下养护的试件提供所需的工作环境。
300mm XGTP
对应300mm晶片的平行密封型缝阀 XGTP
沪公网安备 31011402002796号