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WGL光电轮廓仪参照比较

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产品名称: WGL光电轮廓仪参照比较
产品型号: WGL
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简单介绍

WGL光电轮廓仪参照比较 ●本仪器采用非接触、光学相移干涉测量方法,测量时不损伤工件表面, 能快速测得各种工件表面微观形貌的立体图形,并分析计算出测量结果。 ●适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙度; ●标尺、度盘的刻线深度; ●光栅的槽形结构镀层厚度和镀层边界处的结构形貌; ●磁(光)盘、磁头表面结构测量; ●硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。 ●由于仪器测量精度高,具有非接触和三维测量的特点, 并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果,本仪器适用于各级测试、 计量研究单位工矿企业计量室,精密加工车间,也适用于高等院校和科学研究单位等


WGL光电轮廓仪参照比较  的详细介绍

WGL光电轮廓仪参照比较

参数名称 参数值
表面微观不平深度测量范围在连续表面上,相邻二象素之间没有大于1 / 4 波长的高度突变时 1000 一1nm 
相邻二象素之间含有大于1 / 4 波长的高度突变时 130 一1nm 
测量的重复性 δRa ≤0.5nm 
物镜倍率 40X 
数值孔径 Φ 65 
工作距离 0.5mm 
仪器视场 目视 Φ0.25mm 
摄象 0.13×0.13mm 
仪器放大倍数 目视 500× 
接收器测量列阵 1000X1000 
象素尺寸 5.2×5.2µm 
测量时间采样(扫描)时间 1S 
仪器标准镜 反射率(高) ~50 % 
反射率(低) ~4 % 
照明光源 白炽灯6V 5W 
绿色干涉滤光片波长 λ≒530nm 
半宽度 λ≒10nm 
主显微镜升程 110 mm 
工作台升程 5 mm 
X 、丫方向移动范围 ~10 mm 
工作台旋转运动范围 360° 
工作台顷斜范围 ±6° 
计算机系统 P4 , 2 .8G 以上,内存1G以上17寸纯平显示器 


WGL

WGL光电轮廓仪参照比较

WGL

WGL光电轮廓仪参照比较

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